Riber: Projet CRYSTAL

Société française créée en 1964, Riber a démarré son activité en tant que distributeur de produits ultravide (UHV), destinés aux universités et aux laboratoires de recherche.

La suite logicielle CRYSTAL:

Le système CRYSTAL se présente sous le terme générique de « logiciel de supervision des machines d’épitaxie » de la société RIBER. Il est donc destiné à aider les opérateurs à exploiter toutes les configurations des machines fabriquées par RIBER (compact21, MBE32, MBE49, MBE 6000, CBE, epineat, MBE 7000). Ces machines présentent des différences notables en termes d’équipements installés : leurs nombres et leurs types varient d’une configuration à l’autre.

Le logiciel CRYSTAL s’adapte à toutes ces configurations en proposant des outils adaptés aux trois phases essentielles dans le cycle de vie des machines d’épitaxie :

• L’installation du logiciel qui accompagne le montage des machines d’épitaxie,
• La configuration du logiciel et son adaptation à la configuration particulière de la machine d’épitaxie à superviser,
• L’exploitation du logiciel dans les différents modes d’utilisation des machines d’épitaxie (principalement en supervision interactive et en exécution de recettes de fabrication, unitaire ou par lot).

La suite logicielle CRYSTAL a ainsi été décomposée de la manière suivante :

• Le sous-système « CRYSTAL Preferences » fournit les outils de personnalisation du logiciel CRYSTAL,
• Le sous-système « CRYSTAL ToolBox » fournit à l’opérateur les outils de description de la configuration de la machine d’épitaxie et des équipements installés,
• Le sous-système « CRYSTAL Schedule » permet de décrire les recettes de croissance des wafers en vue de leur production automatisée,
• Le sous-système « CRYSTAL Batch » s’applique aux machines de production pour la fabrication automatique de lots de wafers,
• Le sous-système « CRYSTAL Eyes » permet à l’opérateur de :

• disposer d’outils de commande et de supervision interactive

utilisés pendant l’exploitation quotidienne des machines d’épitaxie,

• contrôler l’exécution de recettes de fabrication automatisées,

• assurer la sécurité en cas d’évolution anormale des paramètres

clés (pression de la chambre de croissance notamment),

• mémoriser les mesures effectuées sur la machine et permettre leur restitution sous la forme de rapports imprimés,

• Le sous-système « CRYSTAL Analyser » fournit à l’opérateur des outils simples de génération de rapports à partir des données enregistrées pendant une session d’utilisation de CRYSTAL Eyes,

• Le sous-système « CRYSTAL License » est l’outil interne à RIBER qui permet de générer les clés de licence cryptées pour l’utilisation de CRYSTAL Eyes en mode d’exploitation.